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該(gai)集成運放(fang)主要(yao)采(cai)用(yong)pHEMT施(shi)工(gong)工(gong)藝研發(fa)，柵極長寬高(gao)為0.25μm，完成的基板的通孔，環(huan)境橋和智能(neng)電子束柵極夜刻水平研發(fa)。